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小型臺式無掩膜光刻機- MA1200
小型臺式無掩膜光刻機- MicroWriter ML3是英國公司專為實驗室設計開發,為微流控、SAW、半導體、自旋電子學等研究領域提供方便高效的微加工方案。
傳統的光刻工藝中所使用的鉻玻璃掩膜板需要由專業供應商提供,但是在研發環境中,掩膜板的設計通常需要經常改變。無掩膜光刻技術通過以軟件設計電子掩膜板的方法,克服了這一問題。與通過物理掩膜板進行光照的傳統工藝不同,激光直寫是通過電腦控制一系列激光脈沖的開關,在光刻膠上直接曝光繪出所要的圖案。
MA1200 是一款多功能激光直寫光刻系統,具有結構小巧緊湊(70cm x 70cm x 70cm),無掩膜直寫系統的靈活性,還擁有高直寫速度,高分辨率的特點。采用集成化設計,全自動控制,可靠性高,操作簡便。適用于各種實驗室桌面。
產品特點
Focus Lock自動對焦功能 | 光學輪廓儀 |
標記物自動識別 | 直寫前預檢查 |
簡單的直寫軟件 | Clewin 掩膜圖形設計軟件 |
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