美國axometrics艾克松- 穆勒矩陣AR/VR光學量測系統
日本FLUORO福樂真空吸筆專為晶圓轉移搬運設計,具有以下核心特性:
一、產品概述
?專業適配性?:專用于半導體晶圓的無污染轉移,兼容硅晶圓等各類晶片及小型物體的吸附運輸?14。
?模塊化設計?:可根據需求更換吸附頭(晶圓吸附頭、噴嘴或墊),適應不同形狀和尺寸的運輸對象?1。
二、設計特點
?材料性能?
?抗靜電系列?:采用傳導性尼龍筆身與傳導性PEEK吸頭,電阻率范圍為10?-10?Ω,有效消除靜電干擾,適用于5寸、6寸、8寸晶圓?56。
?防酸系列?:吸盤接頭使用鐵弗龍(Teflon)材質,耐化學腐蝕性強,適用于酸蝕環境或精密器械維修?7。
?輕量化結構?:整體重量輕(約0.04kg),便于長時間操作且易于清潔?12。
?操作模式差異?
?F001?:按下按鈕吸氣,松開即釋放;適用需快速吸附的場景?13。
?F002?:按下釋放,松開吸附;耐高溫及化學腐蝕,適合復雜工況?12。
?C003?:抗靜電型,帶吸力切斷按鈕,可手動控制吸附狀態?15。
三、應用場景
?半導體制造?:用于晶圓的無損搬運,避免物理接觸污染?46。
?精密工業?:如鐘表、珠寶制造,需防靜電或耐腐蝕的精細化操作?7。
四、配套設備
需搭配無油隔膜真空泵及抗靜電真空管線(表面電阻率103-10?Ω/cm2),確保系統無靜電累積風險?48。
FLUORO福樂真空吸筆通過多樣化的型號與材料選擇,滿足半導體及精密制造業對潔凈度、安全性與操作效率的嚴苛需求。