YAMAMOTO-MS山本鍍金 應變式化學應力計

YAMAMOTO-MS山本鍍金 應變式化學應力計

• 傳感器測量基板的變形并實時測量鍍層的內部應力。

• 通過一次測量即可測量每次電鍍時的應力（膜厚度）。還可以測量在已經鍍過的薄膜上再次鍍層時產生的應力。可以測量傳統應力計無法檢測到的微小應力。將專用應力計板插入YPP系列精密電鍍電源的插槽中。

• 特征

• ●符合JIS H8626標準。
  ● 即使是微弱的應力也可以測量。適用于測量薄膜、晶圓等脆弱產品。 （從0.5μm以上的膜厚開始即可進行精密測量）
  ● 還可以測量其他方法無法測量的初始應力。
  ●適合精細零件。
  ● 傳感器獲取的數據即時輸入到連接電源的PC中，PC自動計算出應力值，無需任何計算。此外，測量數據可以通過計算機實時顯示和存儲。

• 電源和應力測量板規格

• 輸入電壓	AC100~200V±10%（50/60Hz±5%）
  輸出電壓/輸出電流	直流0-15V/0-10A
  最小分辨率	1毫安/10毫伏/0.1毫攝氏度
  溫控功能	1KW（ON/OFF控制/PID控制）
  產品重量	8.8公斤
  支持的操作系統	兼容 Windows 8、10

• 套裝內容

• 零件編號	產品名稱	數量
  B-72-SG-P01W	應變式精密應力計（MODEL-w）用水箱	1 件
  B-72-SG-P02	應變式精密應力計夾具支架（帶陽極背板）	1套
  B-72-SG-P03-1	應變式精密應力計試件（銅）5件	1套
  B-72-SG-P04	應變式精密應力計試件保溫管	1
  B-50-KTSG121513	不銹鋼G型緊固件（寬12毫米×15φ13）	1 件
  B-72-SG-P06	應變式精密應力計用陽極板套裝 （含磷銅、鎳、SK鎳、高純度錫（三菱電解錫）各1片）	1套
  B-58WJB	帶溫度保險絲的赫爾電池加熱器WJB型（AC100V，100W）	1瓶
  B-72-SG-P07	應變式精密應力儀用氣管	1
  B-57A	赫爾格氣泵A（AC100V）	1 件
  B-62A	攪拌器（帶固定支架）（兼容 Micro Barrel、Smart Hull Cell 和 Smart Cell）	1套
  B-93-YTC-P04	YTC、YPP溫度傳感器（短）總長度190mm	1
  B-93-YTC-P02	YTC溫控器溫度傳感器塞（L型）	1 件
  A-52-P18	空氣過濾器	1 件
  A-57-15100-1B	應變式精密應力計板	1個單位
  A-57-15100WA-J	精密晶圓電鍍電源YPP15100WA-J（1mA至10A）	1個單位
  A-57-15031WA-J	超精密電鍍電源YPP15031WA-J（10μA至3A）

• *產品編號的最后一位數字將根據套裝中包含的電源而有所不同。
  　YPP15100WA電源套件：B-72WJ-SG-100W　
  　YPP15031WA電源套件：B-72WJ-SG-031W

• 相關論文 

• 鍍膜應力測定方法日本表面處理協會 2007

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