INTECS英特斯 拋光晶圓霧度照明裝置燈 

INTECS英特斯 拋光晶圓霧度照明裝置燈 

用于拋光晶圓霧度目視檢查的照明裝置

當照射到拋光晶片上時，會投射出三線檢查標記。

UIH-1H型規格

燈泡額定值15伏 150瓦 

設計照射直徑和距離距燈管 180mm處φ40mm 

最大亮度上述照射直徑中心約50,000勒克斯 

50萬勒克斯照射直徑約φ45mm 

距離和亮度加倍約 360 毫米15萬勒克斯 

亮度偏差和范圍最大亮度偏差：上限10%，下限20%，可變范圍10：1以上 

最大亮度燈泡壽命50+小時 

半亮度燈泡壽命超過800小時 

調光方式可控硅相位控制 

燈箱冷卻風扇強制冷卻 

燈箱熱量監控沒有任何 

燈箱冷卻維護 (*1)沒有任何 

電源AC100V變壓器型 

毛重約7公斤 

　　　 *1 為了保護燈泡，即使主電源開關關閉，風扇仍會持續冷卻燈泡，直到燈箱內的溫度降至 40°C 以下。

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