HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA SEC-E 系列數(shù)字質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱 MFC），適用于各種工業(yè)與科研應(yīng)用。該系列產(chǎn)品通過熱式傳感器檢測(cè)氣體流量，并搭配高響應(yīng)電磁閥進(jìn)行精準(zhǔn)控制，支持多種氣體類型與廣泛的流量范圍，性能穩(wěn)定，控制精度高。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 高精度熱式傳感器
  內(nèi)置熱傳感器可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)流量測(cè)量，確保流量控制的高精度與重復(fù)性。

• 電磁閥控制
  快速響應(yīng)的電磁閥結(jié)構(gòu)，具備良好的流量調(diào)節(jié)能力，適合動(dòng)態(tài)工況。

• 多氣體兼容性
  支持多種標(biāo)準(zhǔn)及特種氣體，如 N?、O?、Ar、He、H?、CO? 等。

• 寬流量控制范圍
  控制范圍從 10 SCCM 至 200 SLM，涵蓋從實(shí)驗(yàn)室級(jí)別到工業(yè)規(guī)模的多種需求。

• 數(shù)字/模擬信號(hào)兼容
  提供模擬 (0–5V, 4–20mA) 和數(shù)字通訊（RS485, DeviceNet, PROFIBUS）接口，便于系統(tǒng)集成。

• 緊湊設(shè)計(jì)，易于安裝
  模塊化結(jié)構(gòu)，體積小，適合集成到各類設(shè)備或系統(tǒng)中。

技術(shù)規(guī)格