HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場(chǎng)合，兼具高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測(cè)、光纖制造等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 安裝靈活：支持任意角度安裝，提升現(xiàn)場(chǎng)布局的自由度。

• 高精度控制：采用多段線性調(diào)整技術(shù)，控制精度更高，調(diào)節(jié)比更寬。

• 快速響應(yīng)：T98響應(yīng)時(shí)間小于1秒，滿足快速過程控制需求。

• 自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整：具備自動(dòng)零點(diǎn)修正功能，有效補(bǔ)償環(huán)境變化帶來(lái)的偏差。

• 多氣體兼容：可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。

• 豐富的流量范圍：覆蓋10 SCCM至50 SLM，滿足從微量到大流量的不同應(yīng)用。

技術(shù)規(guī)格