電源 (ACV×Φ×Hz) | 票價:200×3×50 220×3×60 |
功率 KW (50/60Hz) | 1.5/1.7 |
冷卻方式:水量 (L/min) (20°C) | 水冷2 |
重量 (Kg) | 75 |
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ULVAC愛發科 低溫真空泵 C10T
ULVAC愛發科 低溫真空泵 C10T
低溫真空泵(Cryopump或Cryogenic Vacuum Pump)是一種利用低溫冷凝和低溫吸附原理來獲得高真空和超高真空環境的真空獲得設備。它通過將氣體分子冷凝在極低溫表面上或通過低溫吸附材料捕獲氣體分子來實現抽氣功能。
低溫真空泵主要由三部分組成:低溫制冷系統(通常采用閉循環氦氣制冷機)、低溫抽氣表面和真空外殼。工作時,低溫泵內部的第一級冷頭溫度通常維持在50-80K(用于冷凝水蒸氣、二氧化碳等氣體),第二級冷頭溫度可降至10-20K(用于冷凝氮氣、氧氣、氬氣等),而溫度可達2-4K(用于吸附氫氣、氦氣等難冷凝氣體)。
無油清潔:低溫泵不使用油類介質,避免了油蒸氣對真空系統的污染,特別適合對潔凈度要求高的應用場合。
抽速范圍廣:對常見氣體的抽速可達幾千至幾萬升/秒,特別對水蒸氣、氮氣、氧氣等有的抽速。
極限真空高:可獲得10??至10?11Pa的超高真空,是目前獲得超高真空的主要手段之一。
結構緊湊:相比擴散泵等傳統高真空泵,體積小、重量輕,便于安裝。
無振動運行:現代閉循環低溫泵振動極小,適合精密儀器使用。
抽氣選擇性:對不同氣體有不同的抽速,可通過溫度調節實現選擇性抽氣。
可再生性:當吸附飽和后,可通過加熱再生恢復抽氣能力。
規范
電源 (ACV×Φ×Hz) | 票價:200×3×50 220×3×60 |
功率 KW (50/60Hz) | 1.5/1.7 |
冷卻方式:水量 (L/min) (20°C) | 水冷2 |
重量 (Kg) | 75 |
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