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產品介紹
ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR90
ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR90
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 最常見的泵之一是羅茨干式真空泵。
“Model：ECO-SHOCK"是一個劃時代的附件，當連接到您當前的干式真空泵時
，它可以顯著節省干泵的能源。
長處
有助于節能將干式真空泵的功耗降低
高達 80%（與本公司相比），
還具有抑制干泵發熱的作用，可降低空調設備的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。
提高干泵的性能提高極限壓力性能降低
排氣噪音降低排氣速度在連續運行時間不超過
1000 Pa 的應用中實現
高效率
*可安裝在排氣口抽真空沒有問題的干泵上。
易于安裝
用
干式真空泵用于抽空空氣、氮氣和氬氣等惰性氣體
用于濺射制備室和取出室的干式真空泵
ES10 系列
| 型號名稱 | LR60 系列 | LR90 系列 | LR180型 |
| 抽速*1 | 1300升/分鐘 | 2100升/分鐘 | 3980升/分鐘 |
| 實測功耗*2 | 2.1千瓦 | 3.6千瓦 | 6.6千瓦 |
| 安裝 ECO-SHOCK 時測得的功耗 *3 *4 | 0.7千瓦 | 1.0千瓦 | 1.6千瓦 |
| 功率降低率 | 67% | 72% | 76% |
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