Park Systems原子力顯微鏡 NX-20

儀器簡介:

    NX-20具有的形貌表征能力，完善的設(shè)計(jì)使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動(dòng)化的軟硬件，極大地避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測量，降低了勞動(dòng)強(qiáng)度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡便的儀器，NX-20會(huì)成為納米研究領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)界的得力助手。

Park Systems原子力顯微鏡 NX-20技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）

平面偏移度:<2nm（全量程掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍15μm（可選30μm）

定位檢測噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）

共振頻率：>9kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)種類：16位點(diǎn)樣品臺(tái)/150mm直徑真空吸附臺(tái)（可選200mm直徑真空吸附臺(tái)）

樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）

主要特點(diǎn)：

一、高精確性和高重復(fù)性

● 探針幾乎沒有損耗，保證了圖像的高分辨率

● 非接觸模式下zui快的掃描速度

● *的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器

● 業(yè)內(nèi)zui小的系統(tǒng)漂移和遲滯

二、低噪聲檢測器精確測量樣品形貌

●采用業(yè)界的低噪聲檢測器測量樣品形貌

● 消除了蠕變效應(yīng)導(dǎo)致的邊緣超調(diào)誤差

● 高速掃描過程中的精確形貌檢測記錄

●業(yè)界的極小正反測量偏離量，小于0.15%

三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式極大降低了使用成本

●相對(duì)于傳統(tǒng)掃描模式，將探針壽命提高了10倍以上

●極低的探針損耗極大地延長了探針高分辨掃描壽命

●對(duì)樣品幾乎沒有磨損