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電感耦合等離子體質譜分析技術是以等離子體為離子源，以質譜進行檢測的無機多元素分析技術，主要用于多元素同時測定，并可與其他色譜分離技術聯用，進行元素價態分析，適用于各類材料中從痕量到微量元素分析，尤其是痕量金屬元素的測定。

該技術是根據被測元素通過一定形式進入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產生的離子經過離子光學透鏡聚焦后進入質譜分析器，按照荷質比分離，既可以按照荷質比進行半定量分析，也可以按照特定荷質比的離子數目進行定量分析。

賽默飛電感耦合等離子體質譜儀ELEMENT2/XR是獲得認可的痕量元素分析和定量的技術，可以同時分析周期表中的幾乎所有元素，濃度范圍從mg/L到pg/L ；兼容無機和有機溶液的基體和固體樣品。利用高分辨率直接分析有干擾的同位素；的確信不含干擾的元素圖譜；瞬時信號的多元素檢出器；并能與多種進樣和分離技術聯用，例如激光進樣。其應用范圍從半導體工業到地質和環保分析、從生物研究到材料科學。 ICP-MS嚴重的限制是元素信號的多原子干擾，這種干擾主要來自氬或樣品基質。 高質量分辨率是識別和消除干擾的標準。 即使沒有樣品制備步驟，消除干涉也能準確可靠地進行痕量級多元素定量分析。目前，已經安裝使用的ELEMENT XR已超過600臺，服務于環境監測、核科學、地球科學、材料科學等各個領域。