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6月27-29日，半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)SEMICON China 2020在上海新博覽中心舉行，專業(yè)的分析儀器制造商之一珀金埃爾默，攜全面的半導(dǎo)體行業(yè)解決方案，以及新的無(wú)機(jī)元素分析利器，業(yè)界化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS NexION® 5000精彩亮相?，F(xiàn)場(chǎng)來(lái)往的專業(yè)觀眾不少都被這臺(tái)具有超前性能優(yōu)勢(shì)的新產(chǎn)品吸引駐足，與我們的技術(shù)人員交流了解。

NexION® 5000精彩亮相

在展會(huì)期間，珀金埃爾默應(yīng)用市場(chǎng)高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理受邀與27日下午的新技術(shù)發(fā)布會(huì)上發(fā)表主題演講《珀金埃爾默化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS助力半導(dǎo)體工業(yè)無(wú)機(jī)元素檢測(cè)》。半導(dǎo)體行業(yè)是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，更先進(jìn)的芯片一直是行業(yè)的核心追求之一。在指甲蓋大小的芯片上可能集合了近萬(wàn)米金屬線和幾千萬(wàn)甚至上億根晶體管，這猶如在一粒沙上建造一座城市，對(duì)集成電路芯片生產(chǎn)工藝提出了很高的要求。在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中，對(duì)痕量元素雜質(zhì)的控制會(huì)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。這要求對(duì)半導(dǎo)體制程中的晶圓、超純水、化學(xué)試劑、光刻膠、電子特氣等進(jìn)行嚴(yán)格的無(wú)機(jī)元素檢測(cè)。目前，根據(jù)新的制程要求，SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì))Grade 5 標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體用超純水本底要求為小于1ppt水平，所有超純化學(xué)品中關(guān)鍵無(wú)機(jī)元素離子小于10ppt，更有半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)依據(jù)其制程工藝，提出需達(dá)到5ppt甚至更低的水平。

珀金埃爾默為滿足嚴(yán)苛的痕量元素、超痕量元素檢測(cè)而開發(fā)的NexION 5000，具有業(yè)內(nèi)*的四組四極桿設(shè)計(jì)，結(jié)合碰撞反應(yīng)池技術(shù)，可提供超低的背景等效濃度、優(yōu)異的檢出能力和基體耐受性，可實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確度和高可重現(xiàn)性的分析結(jié)果。其四組四極桿質(zhì)譜平臺(tái)和四路碰撞反應(yīng)氣，可以依據(jù)不同的應(yīng)用需求，簡(jiǎn)單、靈活地進(jìn)行選擇，在性能上較現(xiàn)有的高分辨HR-ICP-MS、傳統(tǒng)三重四極桿和單四極桿ICP-MS均有質(zhì)的提升，可滿足半導(dǎo)體行業(yè)越來(lái)越嚴(yán)苛的工藝質(zhì)控要求。

在報(bào)告之后，這位高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理還受到了媒體的關(guān)注，并接受了中國(guó)集成電路和半導(dǎo)體行業(yè)觀察的采訪，請(qǐng)他介紹珀金埃爾默在半導(dǎo)體行業(yè)檢測(cè)中的布局及其先進(jìn)的分析檢測(cè)技術(shù)如何助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。

優(yōu)質(zhì)儀器 助您檢測(cè)

珀金埃爾默可提供傅里葉變換紅外光譜儀、紅外顯微鏡、紫外可見(jiàn)近紅外分光光度計(jì)、差示掃描量熱儀、熱機(jī)械分析儀等產(chǎn)品，用于測(cè)定固化率、固化熱、熱膨脹系數(shù)、透光率、反射率、微觀污染物、成分濃度等，為客戶提供全面的解決方案。化學(xué)分析與檢測(cè)對(duì)集成電路生產(chǎn)非常重要，它們?yōu)榇_保芯片生產(chǎn)質(zhì)量，改善良品率，提供敏銳的“眼睛”。前不久，業(yè)界就發(fā)生過(guò)因光刻膠中相關(guān)金屬離子不達(dá)標(biāo)從而引起幾億美金損失的慘痛教訓(xùn)。珀金埃爾默在半導(dǎo)體行業(yè)的檢測(cè)方案囊括了無(wú)機(jī)元素與納米顆粒檢測(cè)、AMC及VOCs等有機(jī)物檢測(cè)以及IC封裝中材料檢測(cè)等方面，能有效地為企業(yè)規(guī)避上述風(fēng)險(xiǎn)。

如同我司高級(jí)產(chǎn)品經(jīng)理于采訪中所言：

“我們期待與用戶一同，引進(jìn)和開發(fā)更多有針對(duì)性的應(yīng)用方案，用先進(jìn)的技術(shù)和可靠的儀器為客戶帶來(lái)實(shí)實(shí)在在的幫助，助力中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展”。