六氟化硫電氣設備中氣體介質的絕緣和滅弧能力主要依賴于足夠的充氣密度（壓力）和氣體的高純度，氣體的泄漏直接影響設備的安全運行和操作人員的人身安全。所以，SF6氣體檢漏是六氟化硫電氣設備交接驗收和運行監督的主要項目之一。根據有關規定，設備中每個氣室的年漏氣率不能超過1%。  
現場檢漏的部位主要是設備氣室的接頭、閥門、表計、法蘭面接口等，可參看設備的密封對應圖。試驗時，設備狀況應盡可能與實際運行情況相符。通常，設備應分別在分、合閘位置進行密封試驗，但如已證明密封與分、合閘位置無關或其中一種位置的密封試驗能*包容另一種位置的密封試驗時，則可只在該位置進行密封試驗。檢漏所使用的儀器一般為鹵素氣體檢漏儀，這類儀器對各種電負性氣體，如鹵素、氟里昂、SF6等都有響應，因此在檢漏過程中應注意環境中的干擾情況。檢漏儀可有多種工作原理，但從其外觀和功能上一般分為定性檢漏儀和定量檢漏儀兩類。定性檢漏儀小巧、輕便，通過聲光信號來指示泄漏與否，但無法確定泄漏率；定量檢漏儀體積較大，使用不如定性檢漏儀方便，但可以顯示被測部位的漏氣率。  
檢漏的方法包括定性檢漏和定量檢漏兩大類。定性檢漏通常使用定性檢漏儀，也可使用定量檢漏儀；定量檢漏只能使用定量檢漏儀。定性檢漏  
定性檢漏作為判斷設備漏氣與否的一種手段，通常作為定量檢漏前的預檢。用檢漏儀進行的定性檢漏還可以確定設備的漏點。  
1．抽真空檢漏  
設備安裝完畢在充入SF6氣體之前必須進行抽真空處理，此時可同時進行檢漏。方法為：將設備抽真空到真空度為113Pa，再維持真空泵運轉30min后關閉閥門、停泵，30min后讀取真空度A，5h后再讀取真空度B；如B－A小于133Pa，則認為密封性能良好。  
2．檢漏儀檢滿  
設備充氣后，將檢漏儀探頭沿著設備各連接口表面緩慢移動，根據儀器讀數或其聲光報警信號來判斷接口的氣體泄漏情況。對氣路管道的各連接處必須細致檢查，一般探頭移動速度以10mm/s左右為宜，以防探頭移動過快而錯過漏點。  
在檢查過程中，應防止設備接口上的密封脂堵塞檢漏儀探頭的氣體吸入口。接口上的油脂、灰塵等可能影響檢測，查漏時應排除這些干擾因素。另外檢查工作不應在風速過大的情況下進行，避免泄漏氣體被風吹散而影響檢漏工作。  
該法在實際使用中受到檢漏儀靈敏度和響應速度的限制，一般使用該法檢漏時檢漏儀的檢測限應小于10-6，響應時間在5s以下，越小越好。  
需要注意的是，由于檢漏儀直接工作在大氣環境中，極易受到空氣中各種電負性強的雜質的干擾而發生誤報等情況。所以在檢漏過程中應盡可能保證環境空氣不含煙霧、溶劑蒸氣等干擾物。另外，如果檢漏儀指示某處存在泄漏，還需要經過反復檢查后才能確定。