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痕量氣體是大氣中濃度低于10E-6的粒種，比如潔凈大氣中穩定的痕量氣體有氦、氪、氙等；不穩定的有二氧化碳、氧化亞氮、甲烷、氫和臭氧；很不穩定的有一氧化碳、二氧化氮、二氧化硫、硫化氫和水蒸氣等。它們參與大氣化學循環，在大氣中的滯留期為幾天至幾十年，甚至更長。它們中有一些是天然排放的，但有一部分是由于人類活動大量排放了各種痕量粒種，這些痕量粒種受到各種物理、化學、生物、地球過程的作用并參與生物地球化學的循環，對全球大氣環境及生態造成了重大影響。
痕量氣體在線分析儀用一束紅外光透過檢測室射入檢測器，測量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測室。測量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點氣體）時，無法產生調制信號，因此不會產生漂移，解決了 痕量氣體分析中的零點漂移宜問題。而且使用雙光路檢測氣室，以相反的相位導入測量樣氣和參比氣體，可實現了長期安定穩定運行，無需光學調整。
一般情況下，作為工業用氣體使用的氧氣，氮氣是通過空氣分離來制造的。首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時利用氮氣、氬氣和氧氣三者氣體的沸點不同進行分離出不同氣體。氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。GA-370測量實例。高純度氮氣、氬氣、氧氣制造行業痕量氣體的測定。除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測量。
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