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XD Laser激光干涉儀
XD Laser激光干 涉儀，一次安裝即可以測得6個參數(shù),包括1個位置度誤差、2個直線度誤差和3個角度誤差。
通常時間需數(shù)天進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成。實際應用結果表明:工作效率提升5倍。
該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，
從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產生干涉條紋，
經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子計數(shù)，記錄長度位置。第二束光作直線度測量的參考光束，
傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得。第三束光用作裝在6D .
傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)
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