日本現貨ULVAC愛發科WP-01傳感器真空規管
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真空泵(低?中真空)
ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空領域豐富的技術和經驗為基礎開發的。除了油回轉真空泵以外,干泵也有羅茨型、膜片型和活塞型等。我們有適用于所有領域·條件·用途的真空泵系列產品。
特點
通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理,以防腐蝕。
采用ULVAC設計的轉子軸,實現高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區域連續運行。
用途
半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統,如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
真空熱處理爐真空排氣系統,如燒結爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設備真空排氣系統,如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
醫療食品設備相關的真空排氣系統,如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
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