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掃描電子顯微鏡(SEM)的工作原理

來源:廣州市明美光電技術有限公司   2024年11月08日 09:42  
  掃描電子顯微鏡(SEM)是一種高分辨率的分析工具,能夠對樣品表面進行詳細觀察和成分分析。與光學顯微鏡相比,SEM可以提供更高的放大倍率和更清晰的圖像,因此廣泛應用于材料科學、生物學、納米技術等多個領域。
 
  ZEM15臺式掃描電子顯微鏡掃描速度快,信號采集帶寬10M,可以在視頻模式下流暢實時的顯示樣品。只需鼠標就可完成所有操作,不需對中光闌等復雜步驟,聚焦消像散后可直接拍圖。主機集成高壓及控制系統,體積小巧,便于移動,可出差攜帶,安裝無需特殊環境,只需找一張桌子,供電就可工作。
 
  工作原理:
 
  1.電子束發射:SEM使用電子槍(通常是熱發射或場發射電子槍)產生細束電子,這些電子會被加速并聚焦到樣品表面。
 
  2.激發信號:當電子束撞擊樣品時,將導致樣品表面的原子釋放出不同類型的信號,包括二次電子、反向散射電子和特征X射線。
 
  二次電子:來自樣品表面的低能量電子,主要用于獲取表面形貌信息。
 
  反向散射電子:返回的高能量電子,提供關于樣品組成的信息。
 
  X射線:由樣品原子在受到轟擊后發出的特征X射線,用于元素分析。
 
  3.信號檢測:收集這些信號通過探測器進行處理,并將其轉換為圖像或其他數據。
 
  掃描電子顯微鏡是一項強大的科研工具,能夠揭示樣品的微觀世界。正確的操作與維護能夠確保獲得高質量的數據,促進各個領域的研究和開發。

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