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薄膜厚度測量儀的工作原理

來源:濟南錦華儀器設備有限公司   2025年02月07日 12:06  

薄膜厚度測量儀主要基于光學、機械或電學原理,來實現對各種材料表面薄膜厚度的精準測量。常見的測量方法包括:

1 光學測量

光學測量方法多采用干涉法或反射法。干涉法利用光的波動性質,當光波在薄膜的不同界面之間反射時,會形成干涉條紋,通過分析條紋的變化,可以算出薄膜的厚度。反射法則是基于光的反射特性,當光照射到具有不同折射率的薄膜時,會產生反射,通過測量反射光強度的變化,可以推斷出薄膜的厚度。

2 機械測量

機械測量方法通常使用探針直接接觸到薄膜表面,利用探針的位移量來計算薄膜的厚度。這種方法在很多應用中非常精準,但對薄膜的紋理和結構要求較高,部分情況下可能會損傷膜層。

3 電學測量

電學測量方法則通過電容或電阻的變化來獲取薄膜的厚度。這類技術主要用于極薄的膜層,如納米級別的薄膜,能夠提供足夠的靈敏度和準確性。



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