高頻電磁場的建立：儀器的高頻發生器產生高頻電流，一般頻率在兆赫茲級別，如 27.12MHz 或 40.68MHz 等。該高頻電流通過感應線圈，在其周圍產生高頻交變電磁場。

氣體電離：在炬管中通入氬氣等惰性氣體，在高頻電磁場的作用下，氣體中的少量自由電子被加速，獲得足夠的能量后與氬原子發生碰撞，使氬原子電離，產生更多的電子和離子，形成等離子體。這個過程類似于閃電使空氣電離的原理。

維持等離子體：持續的高頻電磁場不斷為等離子體中的帶電粒子提供能量，使等離子體中的電離、復合等過程達到動態平衡，從而維持穩定的等離子體狀態。等離子體具有高溫、高能量密度等特性，溫度可達 6000 - 10000K。

進樣系統：樣品通常以溶液的形式通過進樣系統進入儀器。進樣系統中的霧化器將樣品溶液霧化成微小的液滴，形成氣溶膠。

進入等離子體：載氣（一般為氬氣）將氣溶膠帶入炬管內的等離子體中。在高溫的等離子體環境下，樣品氣溶膠中的溶劑迅速蒸發，樣品中的元素以固態顆粒的形式存在。

原子化：固態顆粒中的樣品在等離子體的高溫作用下，迅速熔化、蒸發并解離成原子。

激發與電離：處于高溫等離子體中的原子進一步與等離子體中的高能粒子（如電子、離子等）發生碰撞，原子獲得能量，其外層電子從基態躍遷到激發態。部分原子由于獲得的能量足夠高，其外層電子會脫離原子，使原子電離成為離子。處于激發態的原子和離子都不穩定。

光譜發射：激發態的原子和離子會迅速回到基態，在這個過程中，它們以光的形式釋放出多余的能量，產生特定波長的光譜線。不同元素的原子和離子具有獨-特的能級結構，因此發射出的光譜線波長也不同，這些光譜線就像元素的 “指紋”，可以用于識別元素。

光譜檢測：發射出的光譜通過光學系統傳輸到檢測器，如電荷耦合器件（CCD）或光電倍增管（PMT）等。檢測器將光信號轉換為電信號，并記錄下不同波長處的光強。

數據處理：儀器的數據處理系統對檢測器記錄的電信號進行分析和處理，根據光譜線的波長確定樣品中存在的元素種類，根據光譜線的強度與元素濃度的關系，通過校準曲線等方法計算出樣品中各元素的含量。