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工業(yè)級光柵檢測:卓立四軸定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)微米級精度與效率雙飛躍

來源:北京卓立漢光儀器有限公司   2025年04月14日 11:20  

當(dāng)你的 VR 眼鏡出現(xiàn)模糊時, 問題可能藏在納米級光柵里

消費(fèi)者抱怨 AR 設(shè)備畫面不清晰? 工業(yè)質(zhì)檢員反復(fù)校準(zhǔn)色度計?這些問題的根源往往指向光柵元件的微觀缺陷——

?納米級的周期誤差  可導(dǎo)致意想不到的光線傳輸

?K 矢量畸變  引發(fā)光線傳播串?dāng)_,造成成像模糊 、色偏

?傳統(tǒng)接觸式測量  劃傷鍍膜層 、精度低 、無法精確測試 K 矢量卓立光柵測試系統(tǒng) ,重新定義納米級光柵器件的質(zhì)量基線

工業(yè)級光柵檢測:卓立四軸定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)微米級精度與效率雙飛躍

設(shè)備內(nèi)部實(shí)拍

一 、 Littrow 結(jié)構(gòu)+糾偏算法 :破解衍射光柵的"基因密碼"

工業(yè)級光柵檢測:卓立四軸定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)微米級精度與效率雙飛躍

Littrow 結(jié)構(gòu)示意圖

▌λ/10000--0.02nm 級光柵周期解析精度

基于 Littrow 自準(zhǔn)式入射結(jié)構(gòu), 系統(tǒng)通過精密調(diào)整入射角與衍射光強(qiáng)反饋, 實(shí)現(xiàn) 0.02nm 級 光柵周期測試靈敏度 。相較傳統(tǒng)透射電子顯微鏡 、 原子力顯微鏡分析法, 分辨率提升 100倍。

▌0.005° --K 矢量高精度測試

獨(dú)*算法實(shí)時解算光柵面內(nèi) K 矢量角度, K 矢量精度可達(dá) 0.005° ,   全面監(jiān)測光柵器件面內(nèi) K 矢量異常 。某 AR 光波導(dǎo)客戶借此將產(chǎn)品調(diào)試周期從 48 小時縮短至 6 小時。

▌支持多種光柵參數(shù)測試

光柵測試系統(tǒng)支持多類型光柵測試,包括 :閃耀光柵、反射全息光柵、透射全息光柵和布拉 格體全息光柵等 。助力 VR 、AR 行業(yè)客戶 。(實(shí)際使用請咨詢)

二、硬核技術(shù)矩陣:實(shí)驗(yàn)室精度,工業(yè)級可靠性

?卓立四軸軸微米級定位系統(tǒng)

位移軸光柵尺反饋,重復(fù)定位精度±3μm,閉環(huán)分辨率:1μm

旋轉(zhuǎn)軸光柵尺反饋,重復(fù)定位精度±0.003°,閉環(huán)分辨率:0.000152°

支持Φ254mm 超大光柵片全域 mapping,40s 完成單點(diǎn)測量,較手動調(diào)節(jié)效率提升 50 倍。

工業(yè)級光柵檢測:卓立四軸定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)微米級精度與效率雙飛躍

光柵 mapping 結(jié)果

三、從實(shí)驗(yàn)室到產(chǎn)線:全場景解決方案

?科研模式

開放 API 接口,支持自定義測量 Recipe,支持自定義數(shù)據(jù)處理。

?工業(yè)模式

真空吸附,自動上下料,無縫對接 MES/QMS 系統(tǒng),全自動檢測

四 、 系統(tǒng)關(guān)鍵參數(shù)一覽表

單點(diǎn)周期重復(fù)精度

≤0.02nm

單點(diǎn)周期絕對精度

≤ ±0.1nm

單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角絕對精度

≤±0.01°

單點(diǎn)光柵面內(nèi)矢量角重復(fù)精度

≤±0.005°

單點(diǎn)測試時間

45s

可測光柵類型

反/透全息光柵 、 閃耀光柵 、全息體光柵

可測光柵尺寸

小于 8 英寸(支持定制)

五 、全面的軟件功能 ,友好的軟件界面

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六 、完整與快速的服務(wù)網(wǎng)絡(luò)

?資質(zhì)認(rèn)證 :卓立漢光以自主研發(fā)為核心,深耕光電儀器領(lǐng)域 26 年,公司布局全球化市場 通過高精度產(chǎn)品和定制化解決方案,服務(wù)于高校、科研院所及工業(yè)客戶,助力光電領(lǐng)域的技術(shù)探索

?服務(wù)保障 :技術(shù)和服務(wù)團(tuán)隊超 300 人,在上海 、深圳 、北京 、成都 、西安 、長春 、鄭州有限分公司,提供“終身保固”承諾,確保產(chǎn)品可靠性與售后服務(wù)響應(yīng)速度。

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