手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X300N
產品介紹
作為中等負荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設計，并進一步實現了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴大了適用工藝范圍。因同一機型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設備的庫存，減少用于維護和培訓的人力時間，并且能夠靈活應對未來的工藝擴展。此外，在所有工藝中實施最佳的溫度控制，從而實現工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應對的應用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。
EV-X型
小型節(jié)能，僅需一臺設備即可覆蓋廣泛的工藝流程
支持中等負荷工藝
支持高溫化控制
節(jié)能
采用標配耐腐蝕性材料
增強耐腐蝕性的選配件
不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能
無油
可支持CE標志/SEMI-S2/NRTL
省空間化
產品規(guī)格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大處理風量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到達壓力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 電源規(guī)格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到達底壓時消耗電力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
采購中心