KITZ 閥門產品應用廣泛,主要包括以下行業:
化工行業:化工生產中常涉及各種腐蝕性介質和復雜的工藝流程。KITZ 的隔膜閥、球閥等產品,憑借其耐腐蝕性強的特點,能抵御強酸、強堿等化學品的侵蝕,確保介質輸送的安全和穩定,同時滿足精確控制流量的需求,保障生產過程的準確性和高效性。
石油和天然氣行業:在石油開采、煉制以及天然氣輸送過程中,需要承受高壓、高溫的閥門產品。KITZ 的閘閥、球閥等可用于截斷或接通石油、天然氣等介質的流動,其良好的密封性能能防止介質泄漏,確保管道系統的安全運行,同時適應惡劣的工作環境和復雜的介質特性。
電力行業:無論是火力發電、水力發電還是核能發電,都離不開 KITZ 閥門。例如,在火力發電廠中,閘閥、截止閥等可用于蒸汽、水等介質的輸送管道,控制介質的流量和流向;在核電站中,KITZ 的一些高可靠性、高安全性閥門產品可應用于核島、常規島等關鍵部位,確保核電站的安全穩定運行。
半導體行業:半導體制造過程對介質的純度和流量控制。KITZ 的高品質隔膜閥等產品,能夠精確控制光刻膠、蝕刻劑等腐蝕性化學品的輸送,避免介質污染,確保晶圓加工的精度和質量,滿足半導體生產的高潔凈度和高精度要求。
KITZ 的隔膜閥、球閥等產品,具有良好的清潔性和密封性能,結構緊湊且操作簡便,能夠滿足嚴格的衛生要求,確保產品質量安全,防止介質受到污染。
建筑行業:在樓宇建筑中,KITZ 閥門應用于給排水系統、暖通空調系統、消防系統等。例如,閘閥、蝶閥可用于控制水的流動,調節水量;在空調系統中,球閥等可用于控制制冷劑或熱水的流量,實現溫度調節;在消防系統中,專門的消防閥門產品能夠在緊急情況下快速響應,確保消防用水的及時供應。
水處理行業:包括自來水廠、污水處理廠等。KITZ 的蝶閥、閘閥、止回閥等產品可用于控制水流的方向、流量和壓力,在水的凈化、輸送和排放過程中發揮重要作用,有助于提高水處理效率,保障水質安全。
數據中心行業:用于數據中心的冷卻水系統、火災防護系統和供電系統等基礎設施建設。例如,在冷卻水系統中,閥門可控制水流的循環和調節,確保數據中心設備的冷卻效果;在火災防護系統中,閥門能夠在火災發生時迅速響應,實現消防水的準確輸送和分配。
半導體行業對KITZ閥門產品的清潔性和密封性能有哪些特殊要求?
清潔性要求
材質純凈度高:閥門通常需使用 316L 不銹鋼、PFA、PVDF 等超高純度材料,從源頭上避免金屬離子等雜質析出,防止對半導體制造過程中的高純度氣體、 ultrapure water(超純水)、光刻膠等造成污染。
表面處理精細:閥門內部流道和與介質接觸的表面需進行高精度拋光處理,如通過電解拋光等工藝,使表面粗糙度達到極低水平,一般要求 EP(電解拋光)表面粗糙度 Rz 0.7μm 以下,以減少顆粒吸附和滯留,避免顆粒脫落進入工藝介質3。
無顆粒釋放:在閥門的設計和制造過程中,要確保沒有微小顆粒或碎屑產生,即使在閥門頻繁開啟和關閉的情況下,也能抑制顆粒的生成,保證穩定供應潔凈的工藝介質。
易于清潔和維護:閥門的結構應設計得便于拆卸、清洗和組裝,以方便定期進行清潔維護操作,確保內部無雜質殘留,且在清潔過程中不會對閥門本身造成損傷,影響其性能。
密封性能要求
超高的密封精度:無論是內部密封(防止介質在閥門內部泄漏)還是外部密封(防止介質泄漏到外界環境),都要求達到密封標準,通常要求內部和外部泄漏量檢測達到 1.0x10?1? Pa 甚至更低級別,以避免工藝介質的泄漏導致的污染、浪費以及對生產環境和設備的損害3。
能承受工況:半導體制造過程中可能涉及到高溫、高壓、高真空以及腐蝕性氣體或液體等工況,閥門的密封結構和材料必須能夠在這些條件下保持穩定的密封性能,如在高真空環境下(如 10?? mbar 甚至更高真空度),閥門的密封件不會因壓力差而變形或損壞,確保真空系統的密封性5。
耐腐蝕密封材料:由于半導體工藝中常使用強酸、強堿、強氧化劑等腐蝕性化學物質,密封材料需具備優異的耐腐蝕性,如采用 PCTFE、PI、PFA 等材質的密封圈,以抵抗化學介質的侵蝕,防止密封性能下降3。
快速響應和可靠密封:在半導體生產設備中,閥門需要頻繁地快速開啟和關閉,以精確控制工藝介質的流量和流向,這就要求閥門的密封機構能夠快速響應并在每次動作后都能實現可靠的密封,保證工藝的穩定性和重復性。
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