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聚對二甲苯（Poly-p-xylene），商品名帕里綸（Parylene），是通過化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性，主要有 Parylene N（聚對二甲苯）、Parylene C（聚一氯對二甲苯）和 Parylene D（聚二氯對二甲苯）三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等
工作原理
將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基，再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對二甲苯薄膜。
Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機(jī)和鐵氧體;
在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲和記錄器件;
在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;
在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護(hù)。
聚對二甲苯可提供
? 輪廓獨(dú)立于偏差小于 1 µm 的恒定層厚度
? 1 µm 以上可可靠實(shí)現(xiàn)“無孔”, 即無缺陷處
? 可承受熱負(fù)荷（取決于聚對二甲苯類型）
? 化學(xué)惰性（耐多種化學(xué)物質(zhì)）
? 耐受環(huán)境影響和紫外線輻射
? 非常好的阻隔特性
? 在等離子體上經(jīng)過清洗和預(yù)處理的表面 非常好的 粘附性
? 還適用于覆蓋 復(fù)雜的輪廓、邊緣、裂縫和 空腔
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