工作原理

結構特點

• 無油設計：氣體接觸區域不使用油或液體，避免了油蒸氣對工作環境的污染，可實現清潔排氣，特別適合需要無油清潔氣氛的應用，如半導體制造、電子設備生產等領域。

• 結構簡單：主要由隔膜、偏心軸、連桿、閥門等部件組成，整體結構相對簡單，這使得設備的維護和保養較為方便，降低了維修成本和停機時間。

• 密封性好：隔膜的良好密封性能，有效防止了氣體泄漏，保證了泵的抽氣效率和真空度。

性能特點

• 清潔真空：能夠提供無油、清潔的真空環境，滿足對真空度要求較高且需要避免油污染的工藝需求，如光學鍍膜、真空鍍膜、電子束焊接等。

• 低噪音和低振動：運行過程中產生的噪音和振動較小，有利于營造安靜的工作環境，減少對周圍設備和人員的影響。

• 大氣壓力下可運作：可以在大氣壓力下啟動和運行，不需要額外的輔助設備來達到初始真空度，使用較為便捷。

• 抽氣能力有限：由于隔膜的彈性變形能力有限，隔膜式干泵通常只能實現相對較低的抽速，且難以獲得高真空度，一般適用于對真空度要求不是的場合。

• 存在 “死區”：泵內存在一個被稱為 “死區” 的容積，此處的氣體無法被移至排氣管路，隨著進氣壓力降低，流入的新氣體量越來越少，導致容積效率持續降低，限制了泵的壓縮比和最終真空度。

應用領域

• 半導體與電子工業：用于 IC 的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附等工藝，為半導體制造過程提供清潔的真空環境，避免芯片受到油污污染。

• 醫療領域：如醫療機械中的真空鑷子、血液分析設備、牙科設備等，可提供無油的真空源，確保醫療操作的安全性和可靠性。

• 實驗室研究：常用于真空排氣、真空濃縮、過濾、脫氣、消泡等實驗過程，為科研人員提供穩定、清潔的真空條件，保證實驗結果的準確性。

• 包裝機械：在食品、藥品等行業的包裝過程中，用于真空包裝，延長產品的保質期，防止產品氧化和變質。

• 光學機械：如光學鍍膜、鏡片制造等工藝中，需要高精度的真空環境，隔膜式干泵可滿足其對清潔真空的要求，確保光學元件的質量和性能。