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美國API激光干涉儀XD Laser 6D基本信息

來源：篤摯儀器（上海）有限公司 2025年05月16日 17:16

其突出特點是體積小巧、重量輕便，可直接安裝在機床導軌上，便于生產現場快速部署與調試，顯著提升操作便利性。

該儀器主要由穩頻激光器、干涉鏡和 6D 傳感器組成。穩頻激光器提供穩定激光光源，為測量精度奠定基礎；干涉鏡對激光光束進行干涉處理，形成可用于測量的干涉信號；6D 傳感器則是核心部件，集成分光、測長、測直線度、測角度等多重功能，實現多維測量。

穩頻激光器發出的激光光束經干涉鏡干涉后，進入 6D 傳感器內的分光鏡，被分為三束功能不同的光束：

第一束光（長度測量）：光束經錐角反射棱鏡反射后，返回干涉儀與參考光束產生干涉并形成條紋。光學相位探測器識別條紋后，通過電子計數記錄精確長度位置，可實現微米級甚至納米級位移測量。
第二束光（直線度測量）：作為直線度測量的參考光束，構建測量基準。傳感器與參考光束的相對位移由傳感器內的橫向光電二極管監測，通過分析位移數據計算機床導軌的直線度誤差。
第三束光（角度測量）：為傳感器內小型光電測角儀提供參考光源。測角儀通過檢測光束角度變化，實現對俯仰角和偏擺角的精確測量，捕捉機床運動中的角度偏差。

在機床精度校準中，可全面測量導軌的直線度、垂直度、俯仰角、偏擺角等參數，為精度調整提供數據支撐；適用于航空航天、精密模具、光學元件等高精度制造領域，確保零部件加工精度；還可通過定期測量，實時監測機床等設備的精度變化趨勢，提前發現潛在故障，實現預防性維護。

具備多維同步測量能力，可同時完成長度、直線度、角度（俯仰角、偏擺角）等 6 個維度的測量，大幅提高效率；基于激光干涉原理與先進光電檢測技術，保障高精度與穩定性；6D 傳感器集成多種測量功能，簡化系統結構，降低安裝調試難度，提升數據關聯性與一致性。

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