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1.1 定義
XRF通過測量樣品受X射線激發后發射的特征熒光X射線，實現元素成分定性與定量分析，適用于金屬、礦物、塑料等材料。
1.2 工作原理
激發源：X射線管（Rh靶）或放射性同位素（如Co-57）。
能量色散（EDXRF）：硅漂移探測器（SDD）分辨元素特征能量。
波長色散（WDXRF）：分光晶體分離不同波長，精度更高。
1.3 技術參數
| 參數 | 典型值 |
|---|---|
| 元素范圍 | Be（4）~ U（92） |
| 檢測限 | ppm級（重金屬元素） |
| 分析速度 | 10~300秒/樣品 |
| 樣品室尺寸 | 可容納直徑300 mm樣品 |
1.4 應用場景
RoHS檢測：電子元件中Pb、Cd、Hg等有害元素篩查。
地質勘探：礦石中金屬元素品位快速評估。
鍍層分析：測量電鍍層厚度（如Zn鍍層0~50 μm）。
1.5 選型指南
臺式 vs 便攜：實驗室分析選臺式（如Shimadzu EDX-7000），現場檢測選手持式（如Olympus Vanta）。
真空系統：輕元素（Na、Mg）檢測需真空或氦氣環境。
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