LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無軸承泵BPS-600 ST 

LEVITRONIX萊維特尼微電子濕製程應(yīng)用超潔凈無軸承泵BPS-600 ST 

The Levitronix® BPS-600 不銹鋼設(shè)計用于微電子濕應(yīng)用中精細流體的超純處理。基于主動磁懸浮，泵葉輪被電機磁場懸浮起來，并受其驅(qū)動。寬大的間隙確保運動部件之間沒有機械接觸，因此，不存在磨損，不會產(chǎn)生軸承磨損或密封件損壞，葉輪和外殼均由導(dǎo)電不銹鋼制成，可用于溶劑應(yīng)用。通過電子調(diào)節(jié)葉輪速度來精確控制流體流速和壓力。

行業(yè)經(jīng)驗證明 – 半導(dǎo)體制造（及其他領(lǐng)域）中最純凈的泵！ 由于葉輪和泵頭外殼之間沒有機械耦合，因此沒有磨損，因此幾乎不會產(chǎn)生顆粒。顯著低于氣動泵 Levitronix®泵的濕表面面積要比同等輸液功率的氣動泵小好幾倍。可靠性 由于不會發(fā)生軸承磨損或密封件損壞，設(shè)備的正常運行時間增加，您的工藝設(shè)備的壽命得以延長，維護成本降低。改進的過濾器性能 開放式泵頭設(shè)計、高流量分辨率、離心泵原理和無閥門導(dǎo)致無無脈沖流量。從而提高超純過濾器的性能。體積顯著小于氣動泵 泵和電機采用高集成設(shè)計，加上沒有機械軸承，大大減少了安裝空間，可被安裝在有限的空間內(nèi)。非常適用于研磨液和精密電鍍液光滑濕潤的塑性材料表面加上無機械軸承、窄縫、裂紋和死區(qū)，因此可以對敏感液體進行溫和處理。