超純水水質指標遠遠高于一般工業用水和普通飲用水、自來水的標準。關于超純水的規定，我國在2016年發布并在2017年5月實施了名為《儀器分析用高純水規格及試驗方法》的標準。標準里規定了超純水的電阻率一般大于18MΩ•cm，總有機碳TOC小于50ppb。

超純水是通過一系列的過濾和除雜質等技術手段來實現的。超純水的應用范圍非常廣泛，包括實驗室、電子、醫藥、化工等行業。在實驗室中，超純水可以用于制備各種化學試劑、溶液稀釋、細菌培養等；在電子行業中，超純水可以用于電子材料的生產、半導體產品的清洗等；在醫藥行業中，超純水可以用于制藥、藥品溶液配制等。

超純水的生產工藝非常嚴格，可以采用專用的超純水生產系統實現超純水穩定、連續生產。超純水生產一般采取EDI技術、反滲透膜技術和拋光混床技術相結合的系統方法。EDI裝置結合拋光混床模塊化設計工藝來制備超純水，其出水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃)，并且不會產生酸堿廢液，具有環保、經濟、發展潛力巨大等諸多優勢。反滲透膜的膜孔徑非常小，可以截留所有離子，保證只有水分子能透過膜。

這套超純水生產工藝自動化程度高，采用了PLC智能化程序，能靈活進行操作。全套生產系統運輸便利、安裝使用方便、運行穩定、能耗低、結構設計相對緊湊、占地面積小，在生產過程中也不會產生污染物，非常環保。對于需要大量超純水用于生產的企業來說，采用這套生產工藝生產超純水具有很高的性價比。