小型氣體加熱器(熱交換器)
瞬間高效率流體加熱技術產品HX系列。
小型氣體加熱器的用途
可加熱各種流體
瞬間且穩定的流體加熱
質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
各種流體加熱
該系列加熱器搭載SUS316L不銹鋼材質的加熱模塊,加熱部分與流體不直接接觸,可以瞬間加熱沒有腐蝕性的流體。
瞬間且穩定的流體加熱
在配管中流動的氣體具有很難被加熱和冷卻的特點。
通常,配管中的流體通過配管外部的帶狀加熱器加熱。但這種方式存在缺點,即難以使熱量傳遞到中心部位。HX系列熱交換器可以將熱量瞬間傳遞到流體中心,從而達到穩定加熱的目的。
質量流量控制器(MFC)輸出端的氣體加熱
在半導體制造工藝中,不僅需要對氣體進行加熱處理,氣體還需要在加熱前接受流量控制。為了在加熱器的輸入端設置質量流量控制器以控制流量,加熱器(輸出端)則需采用低壓降結構。LINTEC自主研發的HX系列加熱器具備低壓降結構,適合與質量流量控制器輸出端連接使用。
大流量熱交換器HX-0300C
最大可對應N2、300SLM的大流量熱交換器。
HX-0300C
特點
最大流量300SLM
最高使用溫度250℃
使用范例
半導體制造工藝中的干燥機
HX-0300C系列熱交換器能夠加熱最大300SLM的流量。使用大流量的加熱氣體進行干燥可提高產量。此外,由于加熱器部分不接觸氣體,因此非常適合用于需要清潔環境的半導體制造和FPD(平板顯示器)制造工藝。
規格表
流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部分材質 | |
規格 | 300SLM | 30kPa | 1MPa | 250℃ | SUS316L不銹鋼 |
※小型氣體加熱器、小型熱交換器的產品詳情請直接致電或郵件咨詢LINTEC。
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。