產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,生物產業,電子/電池 |
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13.56MHz,27.12MHz,射頻等離子真空清洗機:
產品特點
1)本產品在集成化和小型化方面具體很強的優勢,相對于同等頻率、功率、容量等條件下;
2) 采用7寸大尺寸觸摸屏控制,輕松實現人機交互,減少復雜的機械按鍵和旋鈕操作;
3) 面板僅保留一個電源開關,其他的控制全部交給觸摸屏實現,簡單易學、直觀明了;
4)兩路浮子流量計保證工藝氣體要求的多樣性;
5) 集成觸摸屏控制真空泵、氣路、破真空的開啟和關閉;
6) 通過觸摸屏可以任意設置射頻功率、工藝時間、工作真空度,并具有設定參數記憶功能,避免重復性工作;
7) 內部集成自動匹配器,簡化不同工藝條件下繁瑣的匹配手動調節;
8) 內部集成數顯真空計、功率計和定時器,實時監控真空度、功率值和工藝時間,讓您對所有的工藝參數了如指掌;
9) 日期和24小時制時鐘顯示,提醒勤奮的您也要記得小憩片時;
10) 工藝處理完成后自動安全關閉所有部件并伴有聲音報警,提醒您是時候開艙檢驗您的工藝效果了;
13.56MHz,27.12MHz,射頻等離子真空清洗機:
技術參數
產品型號 (RPC-1305/2705/4005) | ||
主要部件 | 部件名稱 | 參數指標 |
控制系統 | 集成觸摸屏 | 7寸電阻觸摸屏 |
等離子激發 | 電容耦合式(CCP) | |
工作時間 | 0-9999s(任意設定) | |
真空腔體 | 腔體容量 | 5.3L |
腔體尺寸 | 內徑:150mm; 長度:300mm | |
腔體材質 | 304不銹鋼 | |
艙門 | 鋁合金艙門(配不銹鋼鉸鏈) | |
樣品支架 | 鋁合金篩板,厚度:3mm | |
射頻源 | 信號頻率 | 13.56MHz ±0.005%(27.12MHz,40.68MHz可選) |
功率范圍 | 0-100W任意設定(功率等級200W/300W可選) | |
功率穩定度 | ±0.1% | |
匹配器 | 匹配類型 | 全自動匹配 |
匹配時間 | ≤3s | |
氣路 | 氣體測量 | 浮子流量計 |
氣體通道 | 2通道 | |
氣體1量程 | 10~100ml | |
氣體2量程 | 10~100ml | |
氣路接頭 | 外徑:6mm氣管 | |
真空 | 真空測量 | 集成數顯真空計 |
真空泵類型 | 雙極旋片泵式 | |
抽氣速率 | 2L/s(4L/s可選) | |
極限真空度 | 0.067Pa | |
抽氣接口 | KF16-不銹鋼波紋管 | |
整機 | 整機功率 | 1kW |
整機總尺寸 | 580(L) *550(D)* 230(H)mm;(其中拉手+接頭:60mm; 防滑底座:10mm) | |
整機重量 | 24kg(不含真空泵及配件) | |
工作電壓 | 220Vac 50/60Hz | |
工作環境 | -10℃ -- 40℃ | |
冷卻方式 | 強制風冷 |