| 尺寸 | customized客制化 | 吸附方式 | 真空吸附/懸空夾持 |
|---|---|---|---|
| x-y軸調節行程 | customized客制化 |
| 探針臺型號 | HTMP | |
| 外形尺寸 | Customized 客制化 | |
| 整體重量 | Customized 客制化 | |
| 樣品臺 | 吸附方式 | 真空吸附/懸空夾持 |
| X-Y軸調節行程 | Customized 客制化 | |
| X-Y軸調節方式 | 線性無回差 1μm精調 氣浮快速定位 | |
| Z軸升降調節行程 | 0-10mm,精度1μm | |
| θ 水平方向旋轉角度粗調 | 0-360° | |
| θ 水平方向旋轉角度微調 | ±5°,精度0.1° | |
| a垂直方向擺動角度微調 | ±20°,精度0.1° | |
| 顯微鏡 | X-Y-Z軸調節行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
| Z軸氣動升降行程 | 50mm,升降速度可調 | |
| 傾仰角度調節 | 0-30°,自動鎖止 | |
| 光學倍率 | 180X/500X/1000X | |
| 光學分辨率 | 5μm/2μm/1μm | |
| 工 業 相機像素 | 1920x1080P | |
| 針座臺面 | 外形 | U型 |
| 材質 | 拋光不銹鋼&防腐氧化 | |
| 平整度 | ±3μm | |
| 容積 | 至 多放置8個探針座 | |
| 快速升降行程 | 5mm | |
| 微調升降行程 | 25mm，精度1um | |
| 探針座點測定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm | |
| 探針座支持測量類型 | 低頻/高頻/大功率/光波 | |
| 測量范圍 | 低頻測量電流精度 | 10pa 100fa 10fa |
| 高頻測量電流精度 | DC-1100GHZ | |
| 大功率測量范圍 | 10KV/1500A | |
| 光波測量范圍 | 紫外/可見光/紅外 | |
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