產地類別 | 進口 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合 |
特點與優勢
*可做定制或改動
mimi型溫控探針臺,可集成到各種光學設備
可編程控溫,涵蓋-190℃~400℃
適用 10 mm ~26 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針,可從設備外部移動探針進行點針,
模塊化設計,可自由組合
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
SMA接頭轉BNC四探針,手動點針
*可做定制或改動
溫控參數
溫度范圍 | -190℃~400℃(負溫需配液氮制冷) |
加熱塊材質 | 銀 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制(含LVDC降噪電源) 30℃/min |
最小溫控速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ RTD傳感器 |
溫度穩定性 | ±0.05℃(>25℃),±0.1℃(<25℃) |
軟件功能 | 可設溫控速率,可設溫控程序,可記錄溫控曲線 |
電學參數
探針 | 默認為錸鎢材質的彎針探針 |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 |
點針 | 從外部移動點針,每個探針座都可點到樣品區上任意位置 |
探針接口 | 默認為SMA接頭轉BNC *可增設腔內接線柱(樣品接電引線) |
樣品臺面電位 | 默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口 |
光學參數
適用光路 | 反射光路 | ![]() |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 | |
最小物鏡工作距離 | 8/12 mm (可選) *截面圖中WD | |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ45mm,最大視角±50° *截面圖中θ1 | |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數
適用樣品 | 26 mm直徑 (標準) |
樣品腔高 | 4/8 mm (可選) |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式,XY粗調20mm |
調節精度 | 10um |
氣氛控制 | 真空腔,也可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環水,以維持外殼溫度在常溫附近 |
臺體尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg |
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統、外殼循環水冷系統、顯微鏡頭、防震桌、真空系統、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線
其他可選型號
TP102V-MPS | 溫度范圍 -40℃ ~ 180℃,樣品區,40mm*40mm |
HCP421V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區 Φ26mm |
HCP402V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區 50mm*50mm |
HP1000G-MPS | 溫度范圍 35℃ ~ 1000℃,樣品區 25mm*25mm,氣密腔室 |
定制型號 | 按客戶需求定制,最大適用300mm晶圓樣品 |
典型應用
表征薄膜、二維材料、納米材料和分子/有機材料器件的電性能測試
需要加熱塊表面電接地、接同軸BNC接口、三同軸BNC接口的
需要鎢錸探針、鈹銅探針或其他材料的探針的
需要從外部對臺體內探針進行XYZ移動的
晶圓、半導體器件、集成電路、印刷電路板、光伏板、LCD/LED測試
測量IV和CV特性、擊穿電壓、漏電流、電阻、介電常數和二極管效率