INSTEC XYZ模塊化高溫探針臺 HCP1000V-MPS
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 廣州領(lǐng)拓儀器科技有限公司
- 品牌 Instec/美國
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/5/19 16:40:53
- 訪問次數(shù) 43
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應用領(lǐng)域 | 電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣,綜合 |
特點與優(yōu)勢
*SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針,手動點針 *可選三同軸接口
mimi型溫控探針臺,可集成到各種光學設(shè)備
可編程控溫,涵蓋RT~1000℃
適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件
可抽真空的腔體,亦可充入保護氣體使用
獨立的四個探針,可從設(shè)備外部移動探針進行點針
可從溫控器或電腦軟件控制,可提供軟件SDK
模塊化設(shè)計,可自由組合
*SMA接頭轉(zhuǎn)BNC四探針,手動點針 *可選三同軸接口
溫控參數(shù)
溫度范圍 | 30℃~1000℃ |
加熱塊材質(zhì) | 陶瓷 |
傳感器/溫控方式 | 最大升溫速率 S / PID控制(含LVDC降噪電源) |
最大升溫速率 | 50℃/min |
最小溫控速度 | ±0.1℃/min |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.5℃ |
軟件功能 | 可設(shè)溫控速率,可設(shè)溫控程序,可記錄溫控曲線 |
電學參數(shù)
探針 | 默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針 |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 |
點針 | 從外部移動點針,每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置 |
探針接口 | 默認為SMA接頭轉(zhuǎn)BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱(樣品接電引線) |
樣品臺面電位 | 默認為電接地,可選電懸空(作背電極),可選三同軸接口 |
光學參數(shù)
適用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
最小物鏡工作距離 | 8/12 mm (可選) *截面圖中WD |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ45mm,最大視角±58° *截面圖中θ1 |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結(jié)構(gòu)參數(shù)
適用樣品 | 25 mm*25mm |
樣品腔高 | 4/8 mm (可選) |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式,XY粗調(diào)20mm |
調(diào)節(jié)精度 | 10um |
氣氛控制 | 真空腔,也可充入保護氣體 |
外殼冷卻 | 可通循環(huán)水,以維持外殼溫度在常溫附近 |
臺體尺寸/重量 | 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5 kg |
配置列表
基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B溫控器
可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸BNC、臺面電懸空、樣品接電引線
其他可選型號
TP102V-MPS | 溫度范圍 -40℃ ~ 180℃,樣品區(qū),40mm*40mm |
HCP421V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū)Φ26mm |
HCP402V-MPS | 溫度范圍 -190℃ ~ 400℃,樣品區(qū) 50mm*50mm |
HP1000V-MPS | 溫度范圍 35℃ ~ 1000℃,樣品區(qū) 25mm*25mm,真空腔室 |
定制型號 | 按客戶需求定制,最大適用300mm晶圓樣品 |
