HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質量流量控制器

產品概述

HORIBA SEC-Z514MGX 氣體質量流量控制器 隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設計。其具備多氣體、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信協議，適配各種工業自動化控制系統。

主要特點

• 多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍（例如3 SLM、5 SLM、10 SLM）。

• 高精度控制：在全量程范圍內提供 ±1% 設定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度。

• 快速響應：<1 秒的響應時間，有效提高工藝控制效率。

• 金屬密封結構：全不銹鋼氣體接觸部分，適用于超高純應用。

• 靈活通信接口：內建 DeviceNet 通訊，部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®。

• 結構緊湊，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設備集成。

技術參數

• 支持的流量范圍為多種滿量程配置，常見有 3 SLM、5 SLM、10 SLM，可根據客戶需求定制。

• 支持的氣體類型包括氮氣（N?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等，具備多氣體切換功能。

• 控制精度為 ±1.0% 設定值（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.），兩者取其較大值。

• 響應時間小于等于 1 秒，可滿足高動態響應需求。

• 采用壓電陶瓷控制閥，常閉型（Normally Closed），具備較高的穩定性和安全性。

• 氣體接觸材質為 SUS316L 不銹鋼，接口為 C-Seal 全金屬密封，適用于高純氣體控制。

• 內置DeviceNet™ 通信接口，符合 ODVA 標準，部分型號支持模擬信號或 EtherCAT® 接口，便于集成。

• 電源要求為 DC 24V，最大功耗為約 4 VA。

• 推薦的工作環境為溫度 5～40℃，環境應潔凈干燥以確保控制精度和壽命。

應用領域

• 半導體光刻/刻蝕/沉積氣體控制

• 精細化工過程流量管理

• 光電器件生產

• 實驗室高純氣體流量監測與控制