SEC-Z524MGX HORIBA高性能數字式質量流量控制器

產品概述

SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能數字式質量流量控制器（MFC），隸屬于 SEC-Z500X 系列，專為半導體制造、精密化工和高純氣體工藝控制而設計。其具備多氣體、多量程配置功能，支持 DeviceNet 通信協議，適配各種工業自動化控制系統。

主要特點

• 多氣體/多量程配置：支持通過軟件快速切換氣體類型與流量范圍，簡化庫存管理，降低成本。

• 高精度控制：在全量程范圍內提供 ±1% 設定值 或 ±0.25% 滿量程的控制精度。

• 快速響應：<1 秒的響應時間，有效提高工藝控制效率。

• 金屬密封結構：全不銹鋼氣體接觸部分，確保氣體純度，滿足高潔凈度應用的要求。

• 靈活通信接口：內建 DeviceNet 通訊，部分版本支持模擬信號與 EtherCAT®，便于集成至不同的控制系統中。

• 結構緊湊，安裝靈活：C-Seal 安裝接口，適配各類設備集成。

技術參數

• 型號：SEC-Z524MGX

• 流量范圍：支持多種滿量程設置，常見如 10 SLM、30 SLM、50 SLM 等，可通過專用軟件進行現場更改。

• 適用氣體：支持多氣體配置，常見如氮氣（N?）、氧氣（O?）、氬氣（Ar）、硅烷（SiH?）等，用戶可根據需求更改氣體類型。

• 控制精度：±1.0% 設定點（S.P.）或 ±0.25% 滿量程（F.S.），兩者取其較大值。

• 響應時間：≤1 秒（全量程范圍內）。

• 閥類型：壓電陶瓷閥，常閉型（Normally Closed）。

• 密封材料：金屬密封（如 C-Seal）。

• 通信接口：支持 DeviceNet™，部分型號還支持模擬信號和 EtherCAT® 通信。

• 電源要求：DC 24V，功耗約 4.0 VA。

• 氣體接觸部件材料：SUS 316L 不銹鋼，適用于高純度氣體控制。

• 工作環境：建議溫度范圍為 5～50℃，推薦 15～45℃，環境應潔凈干燥以確保控制精度和壽命。

應用領域

• 半導體光刻/刻蝕/沉積氣體控制

• 精細化工過程流量管理

• 光電器件生產

• 實驗室高純氣體流量監測與控制