美國 Logosol 晶圓預對準器 LPA系列 LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P

Logosol 久經(jīng)考驗的技術和高標準的可靠性是業(yè)內廣泛的預對準器系列的基礎。Prealigners 產品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到全透明的任何透明度級別。Logosol 特別的一體化設計和多功能控制軟件實現(xiàn)了與各種半導體平臺的直接兼容性和接口。

美國 Logosol 晶圓預對準器 LPA系列 LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P

創(chuàng)新、高性能、Class 1兼容
特別的一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了即插即用的兼容性
掃描電子、運動控制器和電源均包含在工業(yè)標準尺寸內
由超低慣性無刷電機驅動，實現(xiàn)平滑、即時響應
優(yōu)良的掃描電子學，能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，無需在不同尺寸之間進行機械重新定位
無縫接口與晶圓處理機器人，支持所有晶圓尺寸從45mm到480mm，以及相應尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令集，可實現(xiàn)與各種半導體平臺的兼容性和接口

無縫接口與晶圓處理機器人，支持所有晶圓尺寸從45mm到480mm，以及相應尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令集，可實現(xiàn)與各種半導體平臺的兼容性和接口
快速對齊循環(huán)時間有助于實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量
可作為獨立設備使用，一也可作為與晶圓處理機器人協(xié)同工作的嵌入式設備使用
保留選項包括真空、非真空和邊緣處理