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?產品介紹

德國Freiberg Instruments 的弗萊貝格Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-XRD晶體衍射儀）主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發，該儀器采用先進的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術，且可集成至全自動生產線中，是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

?工作原理

• Omega/Theta XRD可測材料類型有Si、Ge、SiC、Al2O3（藍寶石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高溫渦輪葉片等 200多種半導體、光學、電子、高溫合金等單晶晶體；
• 可對整塊晶體取向mapping（弗萊貝格*）進行測量；
• 可測直徑大可達590mm（可根據需求定制更大檢測尺寸）；
• 檢測精度高達0.003° ，檢測速度快——5s/試樣；
• 可測搖擺曲線檢測晶體質量；
• 制樣簡便，且可集成至全自動化生產線中，快速晶體質量檢測分揀（日處理量高達5000片）。

?用戶群體

德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司Omega/Theta X射線衍射儀系列 （包括Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-XRD晶體衍射儀））在國內已有200多家客戶，如藍思科技、四聯集團、協鑫集團、廣東惠倫晶體、中電五十四所時頻事業部等。

而該儀器在歐美國家等國家晶體生產研發*企業中同樣應用廣泛，如美國IPG Photonics公司、美國II-VI Advanced Materials公司、美國Crystal IS 公司、德國Si Crystal公司、波蘭熱舒夫理工大學。德國博世(Bosch)公司借助于此設備的Omega掃描技術，其石英振蕩器晶體產量從55%直接提升至95%。

?應用實例

單晶渦輪葉片檢測圖：

α方向：

β方向：

γ方向：