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產(chǎn)品型號

  GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀

主要特點

  1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。

   2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

   3、真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板

        閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于

        安裝其他設(shè)備）。

  4、在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

  5、4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。

  6、樣品臺安裝在腔體的頂部。

  7、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。

  8、可使用循環(huán)水冷機(jī)。

技術(shù)參數(shù)

  1、輸入：單相AC220V，50Hz/60Hz，zui大功率≤3.2KW

  2、蒸發(fā)輸出：電壓AC 0-8V連續(xù)可調(diào)，zui大蒸發(fā)電流200A

  3、真空腔：Φ300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理

  4、腔門：Φ200mm

  5、觀察窗：Φ95mm，采用密封圈密封

  6、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s

  7、真空度：5.0×10^-6torr（泵開啟40min后）

  8、極限真空度：5.0×10^-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

  9、漏率：5.0×10^-7Pa/s

  10、樣品臺：Φ140mm

  11、蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm

  12、冷卻水需量：15L/min

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：650mm×1200mm×1600mm；重量：600kg