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AP-1400V無油真空泵
進口無油真空泵(226Lmin)ACP1
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VGT-1620QTD超聲波清洗機4
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帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-120
1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GS
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1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統
4路質子混氣管式PECVD系統
SKZD-2滴料器
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GPC-100A精確磨拋控制儀
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