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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

可攜帶至現(xiàn)場的手持式

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀Smart
● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質(zhì)、可測量其鍍膜

日本Otsuka大塚薄膜厚度檢測儀Smart
與桌上型光學(xué)膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現(xiàn)場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。
與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品，也不會因用戶不同而產(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚的量測精度。
與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測非金屬基材并且得到絕對值！

非接觸式載臺

對于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測量。

產(chǎn)品開發(fā)-量測試作品

1.攜帶到合作廠商等，直接在現(xiàn)場量測效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

規(guī)格樣式

量測原理	反射分光法（光干涉法）、非破壞性量測
膜厚量測范圍	1~50μm（顯示上限60μm）
重復(fù)精度	2.1σ 0.01μm（SiO2膜1μm）
量測時間	1秒內(nèi)
量測層數(shù)	1層
數(shù)據(jù)輸出	附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案
量測Spot	Φ1mm以下
重量	約1.1kg

選配

筆型探頭

能夠測量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。探頭端Φ6mm。

膜厚測量范圍	1μm～50μm
測量重復(fù)性	0.01μm
測量時間	1秒以下

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