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產品介紹
LINTEC 質量流量控制器 MC-7100C
LINTEC 質量流量控制器 MC-7100C
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的，Ru、Rd與 R 保持一定的溫度，當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
產品特點
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用溫度5～50℃
金屬密封材
無塵（粒子標準監控）
周圍溫度補償傳感器
支持EtherCAT通訊方式
支持DeviceNet™通訊方式
品規格表
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
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