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MC-5470LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
參考價: 25140
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • MC-5470L 產(chǎn)品型號
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):69更新時間:2025-03-26 15:15:34

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L


LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于精確測量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動化過程控制的核心組件,MFC通過將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實(shí)現(xiàn)對流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達(dá)±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。


質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號比對設(shè)定的流量信號,反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進(jìn)行流量的控制。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

精準(zhǔn)控制能力:

采用自適應(yīng)PID算法,在10%-100%量程內(nèi)保持線性度±0.5%

零漂移補(bǔ)償技術(shù),長期穩(wěn)定性<±0.5%/年

材料兼容性:

流道材料可選316L不銹鋼、哈氏合金、PTFE等

通過NACE MR0175酸性環(huán)境認(rèn)證


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍最小F.S.最大F.S.密封件
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM200SLMAu


關(guān)鍵性能指標(biāo)

參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號高性能型號

量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM

控制精度±1.0% FS±0.5% RD

重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS

響應(yīng)時間<1s<300ms

工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa

溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃



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