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百級潔凈工作臺塵埃粒子標準詳情

來源:蘇州芯矽電子科技有限公司   2025年04月01日 09:50  

大家知道,既然是百級潔凈工作臺,大家對于塵埃粒子這塊很看重。國家為此也制定了相應的標準,那么,你們知道百級潔凈工作臺塵埃粒子標準是什么嗎?

百級潔凈工作臺塵埃粒子標準一覽

一、標準依據

主要參照標準

國際標準:如ISO 14644 - 1等系列標準,對不同潔凈度級別下的塵埃粒子數量有明確規定。對于百級潔凈工作臺,該標準規定了每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子的數量上限,確保工作環境的高度潔凈。

國家標準:例如我國的GB 50073 - 2013《潔凈廠房設計規范》等相關標準,也對潔凈工作臺的塵埃粒子數量做出了具體規定,保證了在國內生產環境中的潔凈度要求。

標準的目的和意義

這些標準旨在統一潔凈工作臺的性能評價標準,確保其能有效控制塵埃粒子濃度,為高精密度的實驗、生產等提供合適的環境。比如在半導體制造中,一個微小的塵埃粒子都可能影響芯片的質量和性能,所以嚴格的塵埃粒子標準是保證產品質量的關鍵。

二、具體塵埃粒子數量標準

每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數

對于百級潔凈工作臺,每立方米空氣中≥0.5μm的塵粒數應不超過352000個。這是考慮到即使在高潔凈環境下,也難以消除所有的微小粒子,但通過嚴格控制可以將其數量限制在一個極低的水平,以滿足大多數高精度工作的需求。

例如,在一些高精度電子元器件的生產中,對塵埃粒子的控制要求高,此標準能夠減少塵埃對產品的影響。

每立方米空氣中≥5μm塵粒數

每立方米空氣中≥5μm的塵粒數要求為0。這是因為相對較大顆粒的塵埃更容易對精密工作產生干擾,如在光學鏡頭制造、生物樣品處理等過程中,大顆粒塵埃可能會導致劃痕、污染等問題,所以必須嚴格限制其數量為零,以確保工作環境的潔凈。

三、檢測方法與合格判定

檢測方法

通常采用激光粒子計數器等專業設備進行檢測。檢測時,采樣頭位于工作臺面中心位置上方0.1m處,以不大于0.3m/s的速度進行非定向采樣,采樣時間根據設備而有所不同,但需滿足最小采樣量的要求。

例如,對于小型潔凈工作臺,可能需要在多個位置進行多次采樣,以確保檢測結果的準確性和代表性。

合格判定

若檢測結果顯示每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子數量均符合上述標準,且連續檢測三次的結果穩定,則判定該潔凈工作臺的塵埃粒子控制符合百級標準。

如果有一項或多項指標超出標準,則判定為不合格,需要對潔凈工作臺進行檢查和調整,如更換過濾器、檢查密封情況等,然后重新檢測,直至合格為止。

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