高真空電子?xùn)|及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--DZS500

真空室結(jié)構(gòu):U形前開門

真空室尺寸:500x500x600mm

極限真空度:≤6.67E-5Pa

沉積源:4個11cc坩堝

樣品尺寸，溫度:φ4英寸，1片，最高800C

占地面積(長x寬x高):約2.7米x1.7米x2.1米

電控描述:全自動

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤+3%

特色參數(shù):樣品可自轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速可調(diào)

產(chǎn)品概述：
本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu)，采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。 

設(shè)備特點：

本設(shè)備是一個鍍膜平臺，可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng)、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等。
設(shè)備用途：
用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研項目