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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備> 高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700

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高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700

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  北京慧龍環科環境儀器有限公司(以下簡稱:慧龍環科)是一家專業的實驗室儀器設備、耗材銷售服務商。致力于將先進的實驗室儀器、生態環保、智慧農業、安全防護、食品安全、材料科學等相關檢測分析儀器整合成系統解決方案,為廣大客戶提供先進的檢測方式和完善的售后服務體系。
 
  慧龍環科經全體同仁齊心協力、眾志成城的努力奮斗以及業界眾多廠商、客戶的信賴支持下,慧龍環科已在水質檢測、氣體分析、環境輻射、實驗室儀器、生態環保、智慧農業、食品安全、石油化工、工業檢測、安全防護、材料科學等領域建立獨立、完善、便捷的服務信譽。
 
  客戶群體涉及教育科研、石油化工、環保監測、市政工程、農林牧副漁、新能源光伏等眾多行業。

環保監測儀器、食品安全檢測儀、水質分析儀、氣體檢測儀、實驗室設備、石油化工檢測儀、消防安監設備

高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700

真空室結構: U形前開門

真空室尺寸:700x700x900mm

極限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:6個40cc坩堝

樣品尺寸,溫度:4英寸,26片,最高300℃C

占地面積(長x寬x高):約3.2米x3.9米x2.1米

電控描述:全自動

工藝:片內膜厚均勻性:≤3%

特色參數: 工件架有拱形基片架和行星形基片架:可根據用戶基片尺寸設計工件架

產品概述:
系統主要由蒸發室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成,體現立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環境,其余部分(含低溫泵抽系統)處在相對要求較低超凈環境。
設備用途:
本系統配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質膜基片上均勻沉積多層膜的需要。




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