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高真空電子?xùn)|蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB700

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  北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司(以下簡稱:慧龍環(huán)科)是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備、耗材銷售服務(wù)商。致力于將先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)室儀器、生態(tài)環(huán)保、智慧農(nóng)業(yè)、安全防護(hù)、食品安全、材料科學(xué)等相關(guān)檢測分析儀器整合成系統(tǒng)解決方案,為廣大客戶提供先進(jìn)的檢測方式和完善的售后服務(wù)體系。
 
  慧龍環(huán)科經(jīng)全體同仁齊心協(xié)力、眾志成城的努力奮斗以及業(yè)界眾多廠商、客戶的信賴支持下,慧龍環(huán)科已在水質(zhì)檢測、氣體分析、環(huán)境輻射、實(shí)驗(yàn)室儀器、生態(tài)環(huán)保、智慧農(nóng)業(yè)、食品安全、石油化工、工業(yè)檢測、安全防護(hù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域建立獨(dú)立、完善、便捷的服務(wù)信譽(yù)。
 
  客戶群體涉及教育科研、石油化工、環(huán)保監(jiān)測、市政工程、農(nóng)林牧副漁、新能源光伏等眾多行業(yè)。

環(huán)保監(jiān)測儀器、食品安全檢測儀、水質(zhì)分析儀、氣體檢測儀、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、石油化工檢測儀、消防安監(jiān)設(shè)備

高真空電子?xùn)|蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB700

真空室結(jié)構(gòu): U形前開門

真空室尺寸:700x700x900mm

極限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:6個(gè)40cc坩堝

樣品尺寸,溫度:4英寸,26片,最高300℃C

占地面積(長x寬x高):約3.2米x3.9米x2.1米

電控描述:全自動(dòng)

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤3%

特色參數(shù): 工件架有拱形基片架和行星形基片架:可根據(jù)用戶基片尺寸設(shè)計(jì)工件架

產(chǎn)品概述:
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過渡管路、旋轉(zhuǎn)基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機(jī)臺等部分組成,體現(xiàn)立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環(huán)境,其余部分(含低溫泵抽系統(tǒng))處在相對要求較低超凈環(huán)境。
設(shè)備用途:
本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質(zhì)膜基片上均勻沉積多層膜的需要。




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