高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 北京慧龍環科環境儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/5/22 9:43:45
- 訪問次數 74
聯系方式:慧龍環科18911758155,18910319870 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
高真空電子東蒸發薄膜沉積系統--EB700
真空室結構: U形前開門
真空室尺寸:700x700x900mm
極限真空度:≤6.6E-5Pa
沉積源:6個40cc坩堝
樣品尺寸,溫度:4英寸,26片,最高300℃C
占地面積(長x寬x高):約3.2米x3.9米x2.1米
電控描述:全自動
工藝:片內膜厚均勻性:≤3%
特色參數: 工件架有拱形基片架和行星形基片架:可根據用戶基片尺寸設計工件架
產品概述:
系統主要由蒸發室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監控儀、工作氣路、抽氣系統、控制系統、安裝機臺等部分組成,體現立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環境,其余部分(含低溫泵抽系統)處在相對要求較低超凈環境。
設備用途:
本系統配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質膜基片上均勻沉積多層膜的需要。