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邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |

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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-16 21:16:27瀏覽次數:1822
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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應用領域 | 化工,生物產業,能源,電子/電池 |
工作原理
Colibrì系統*由微控制器控制。 利用該系統,可以簡單地通過執行可由用戶編輯的9個配方中的一個來執行處理。 使用高精度針閥,將受控的氣流引入處理室。 將低頻信號(50kHz)施加到腔室內的電極,這與氣體分子相互作用從而觸發等離子體。 產生的等離子體提供與待處理基板表面的*單層相互作用的反應離子物質。 通過對工藝參數(氣體流量,信號強度,持續時間......)進行處理,可以改變生成的過程。
產品功能
?臺式等離子系統,簡單通用
?多可處理十種不同的可編輯配方
?*結果的*性
?長期可靠性
?使用主要品牌組件
技術規格
尺寸 寬 x 長 x 高 450 x 370 x 180 mm
凈重16 Kg (不含真空泵)
凈空右,左,前 - 600mm,后 - 300mm