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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | ￥ 120000 |
| 訂貨量 | 1臺 |
更新時間：2024-05-17 14:16:31瀏覽次數(shù)：3702
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 腔體材質(zhì) | 鋁合金 | 射頻電源功率 | 0-150W 可調(diào) |
| 射頻頻率 | 40KHz | 真空度 | ≤100Pa |
| 氣體路數(shù) | 雙路 |
射頻真空等離子表面處理系統(tǒng)
等離子清洗機是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實驗室環(huán)境；清洗過程不會產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導體、氧化物或高分子材料，應用廣泛。
射頻真空等離子表面處理系統(tǒng) 特點：
u 滿足8寸以下基片使用，適用性廣
u 無環(huán)境污染、無化學品消耗、機臺本身不產(chǎn)生污染物
u 高效清洗，快遞達成需要的表面親水性
應用廣泛，且對處理產(chǎn)品無損傷，不改變材料特性
