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NXQ4006光刻機在操作中應該要注意這樣要點

2015-9-28 閱讀(3340)

   NXQ4006光刻機在操作中應該要注意以下幾點:
  
  1、進入機倉檢查或維修必須切斷電源,掛上警示牌并與中控。
  2、檢修或檢查時必須使用36V以下照明。
  
  3、必須經常監視機器運轉情況,如聽任何不正常聲音,應立即停機檢查,查明原因并處理完故障后,方可重新起動。
  4、正常運轉中,應特別注意電機和轉子的溫度變化,保證充足的油潤滑、水冷卻,超過規定值立即停機檢查。
  5、運行時,不準打開觀察孔,以防物料飛出傷人。
  
  6、每周應檢查一次轉子卡箍螺栓的松緊情況。
  7、每天開機前應檢查襯板螺絲是否松動并緊固。


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