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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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系統的技術描述
Heron 80是一款大尺寸獨立等離子系統，專為表面清潔，改裝和激活而設計。 它可以在不同的材料上運行，如金屬，塑料，陶瓷，紙張等。 下面描述的特性使Heron 80成為小型生產或研發環境的簡單通用解決方案。
主機由不銹鋼制成，帶有可拆卸的后面板和側面板，便于維護或故障排除。 外部裝飾是“輕刷”。它也可以安裝在帶有“穿墻”配置的潔凈室中。
Heron 80的控制系統基于配備觸摸屏HMI操作面板的*PLC。 由于用戶友好的圖形界面，可以直接操作系統組件或讓PLC根據用戶可編輯的配方執行過程。 PLC具有快速掃描時間，可連續測量所有系統參數，以確保均勻可靠的過程。 無法避免的手動處理是裝載/卸載樣品的步驟。
Heron 80是等離子體反應器[1]電容耦合并且包括圓柱形處理室，其內部具有幾個同心籠電極。
他的處理室由鋁制成。 由于表面上形成了天然的氧化鋁，鋁可以在許多工藝氣體（包括氟化蝕刻氣體）的存在下使用，這一特性使這些反應器適用于大多數反應等離子體環境（即蝕刻，灰化...）。 沒有焊接可確保更好的密封，從而防止過程中的外部污染
產品特點
?成本低
?觸摸屏顯示提供實時的所有主要信息，出色的過程控制和快速分析
?能夠處理多達十種不同的可編輯配方
?*結果的*性
?數據記錄功能，頻率<0.5 Hz，用于過程的歷史條件
?出色的過程控制和長期可靠性和穩定性
?使用的主要品牌組件，如真空計和質量流量控制器（MKS儀器）
?射頻功率可在1W至600W范圍內調節
技術規格
尺寸 寬 x 長 x 高 700 x 600 x 1750 mm
凈重 130 Kg （不含真空泵）
凈空 右，左，前 - 600mm，后 - 254mm
