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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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特點(diǎn)：
? 全晶圓壓印 - PL600適用于6英寸晶圓處理, PL400適用于4英寸晶圓處理
? 低于10納米分辨率，產(chǎn)率高達(dá)99％
? 一步自動(dòng)釋放功能，可防止分離過(guò)程中模具/基材損壞，使壓印產(chǎn)量大化
? 支持各種類型的硬模和軟模
? 可變模具和基材尺寸，靈活方便
? 可編程PLC，通過(guò)自定義參數(shù)進(jìn)行過(guò)程控制，帶觸摸屏用戶界面
? 對(duì)準(zhǔn)功能選項(xiàng)
? 多種工藝，適用于各種應(yīng)用光學(xué)器件，顯示器，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，生物醫(yī)學(xué)器件，半導(dǎo)體IC，化學(xué)合成和*材料等
? 專有的紫外線固化納米壓印抗蝕劑對(duì)硬度或厚度沒(méi)有限制，并且與傳統(tǒng)的光刻工藝兼容
PL600
基材尺寸，6“標(biāo)準(zhǔn)（尺寸較小，形狀不規(guī)則）
印記區(qū)： 與晶圓尺寸相同。
模板尺寸 6”,4” ,2” and 1”
壓印壓力: 1 psi標(biāo)準(zhǔn)
模具/基材自動(dòng)釋放: 包括 - 不需要特殊工具
紫外線曝光時(shí)間:在95％強(qiáng)度水平下2-3分鐘
對(duì)準(zhǔn)功能: x，y，z和theta（精度2um）
