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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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使用MicroXact手動探針臺進行IV，CV和低電流測試，可提供半導體器件表征所需的精確和精確測量。由于提供多種選項和MicroXact手動探針臺的靈活性，晶圓上的晶圓級電容和低電流測試從未如此簡單。
特征
手動平臺組裝可提供額外的預載滑塊，便于裝載和卸載晶圓或樣品。
手動控制壓板和卡盤Z位置，進行粗調和微調。
光滑的鑄鋼壓板可容納多達10個磁性或真空定位器。
同軸和三軸卡盤以及外殼可用于低泄漏電流測試。
標準吊桿安裝組件，用于顯微鏡的全范圍XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位
可用的高分辨率微定位器，帶80TPI螺釘，用于探針的μm級定位。
可用的RF選項包括可定制的RF探頭，RF卡盤和屏蔽罩。
型號 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圓尺寸 | 高達150mm | 高達100mm | 高達200mm |
XY舞臺行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm標準 | 高達125mmx125mm | 高達200mmx200mm |
系統尺寸 |
| 56厘米寬x 51厘米深x 61厘米高 | 92米寬x 122厘米深x 92厘米高 |
系統重量 |
| 35kg至45kg，具體取決于所選的選項 | ~70公斤 |
